Méthode optique sans contact pour la mesure de la hauteur de surface
Méthode optique sans contact pour la mesure de la hauteur de surface sur des structures tridimensionnelles dont les profils de surface varient entre quelques dizaines de nanomètres et quelques centimètres.
Ce propriétaire possède de nombreux équipement de R&D dans le milieu de l'ingénierie optique.